第一个优势是材料的优势。
二维半导体材料的厚度仅为0.65 nm,而且迁移率还能和块体硅材料保持相当,突破了硅基材料尺寸微缩的厚度极限。
第二个优势是器件的优势。
硅基晶体管栅极长度的尺寸微缩极限是12nm,而二维半导体晶体管的栅极长度极限可以进一步微缩到8nm,并由此带来更高的频率和更低的功耗。我们还初步验证了同制程工艺下,与传统硅基器件相比,二维半导体器件的功耗能够降到五十分之一,算力能够提升6倍。
第三个优势就是工艺兼容性。
采用当前硅基技术的全链条工艺和装备就可以完成二维半导体材料从晶圆到芯片的全部加工过程。因此,二维半导体材料制造先进芯片的工艺与硅基工艺高度兼容。
第四个优势就是三维集成优势。
二维半导体器件可以通过低能量密度的物理转移技术实现三维堆叠的多功能集成,集成后的系统中可以同时发挥硅基器件和二维半导体器件的优势,实现二者优势互补。